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真空镀膜设备，主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。维护真空镀膜机不可少的一个环节，当发现真空镀膜机腔体漏气的时候，能及时排查处理，显得非常得重要。一般真空室内漏气都是从室壁上的一些小孔或部件之前的连接位细缝中产生，当抽气系统抽气后使真空室内压强下降，外部与内部的压强差使气体从压强高的外部流向压强低的真空室内，造成真空度下降。

真空镀膜机组成结构是怎样的？一台完整的真空镀膜机是由多部分系统组成的，每个系统可以完成不同的功能。

真空镀膜机的主体是真空腔，真空腔大小是由加工产品所决定，它的大小能定制，腔体一般是用不锈钢材料制作，要求结实耐用不生锈等。真空腔有许多连接阀用来连接各种辅助泵。

抽真空系统是镀膜机真空系统的一个重要组成部分，真空度的高低直接影响产品的镀膜效果，真空度由真空测试系统取得数据。

成膜控制系统能采用不同方式，比如固定镀制时间、目测、监控以及水晶震荡监控等。镀膜方式也分多种工艺，常用的有离子蒸发镀膜和磁控溅射镀膜。

真空镀膜机组成结构是怎样的？一台完整的真空镀膜机是由多部分系统组成的，每个系统可以完成不同的功能。

真空镀膜主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜。主要思路是分成蒸发和溅射两种。需要镀膜的被成为基片，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发。

其组成包括真空腔、机械泵、真空测试系统、油扩散泵、抽真空系统、冷凝泵以及成膜控制系统等等。

真空镀膜机如何选型选用真空泵时，需要注意下列事项：

真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。

如:真空镀膜机要求1x10-5mmHg的真空度, 选用的真空泵的真空度至少要5x10-6mmHg.真空镀膜机对于真空度的极限要求和工作压力强度要求越来越大，对真空泵的抽真空能力要求就越高，通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。